电子显微镜类

扫描电子显微镜

来源:武汉大学物理科学与技术学院 发布时间:2015-04-29 09:55:46 点击次数:

设备编号*
12000023
分类编号
03040702
仪器中文名称*
扫描电子显微镜
仪器外文名称
Scanning electron microscopy
 
仪器规格型号*
JSM-6510
仪器总价(元)*
 
生产厂商*
日本电子株式会社
产地国别*
日本
生产日期
2011-12-20
启用日期*
2012/3/5
所在单位*
物理学院
实验室名称
应用物理
安放详细地址*
物理学院2-104
 
联系人*
刘传胜
电话*
18972512093
E-mail
csliuan@whu.edu.cn
 
测试服务标准*
 按机时数(图像观察)    200         /小时,电子束刻蚀    400         /小时
 
 
 
 
每周开放机时数*
 
 
主要技术指标*
二次电子像分辨率:2.5nm (30KV), 7nm (3KV);
2、放大倍数x5 to x300,000;
3、加速电压: 0.5KV to 30KV,
4、束流1pA to 1uA ;
5、全对中大样品台,样品的最大直径150mm,
样品台的移动范围:X:80mm, Y:40mm, Z:5~48mm, T:-10°to +90°, R:360°
6、真空系统:10-5Pa数量级
7、大视野观察范围(Large Field of View
最低的放大倍数可达5倍,可观测到24mm见方的样品,便于用户分析寻找样品。
8、高精度的可变焦聚光镜系统 (Precision Zoom Condenser lens)
探测电流发生变化时,图像的聚焦状态可保持不变。
9、全对中的样品台 (Eucentric Stage)
10、大样品室 (Large specimen chamber) ,可对直径为(150mm)的样品进行直接观察 。
11、可安装EBL电子束刻蚀系统。
 
主要测试和
研究领域
(多选)*
农业□农产品和食品□林业□土壤□生态环境□,
材料■, 生物医学□医药□石油化工□,   地质矿产□,
珠宝首饰□机械工程■海洋□, 大气物理□, 水文气象□,
公共安全□能源■轻工□电子与测量■计算机□,
有机化学□考古□天文□其它□
 
主要附件及功能*
 
 
 
 
 
仪器认证情况*
 
是否共享*
是■,       否□
仪器状态*
正常■,偶有故障□,
故障频繁□,报废□,
闲置□,未启用□,
待修□
 
服务统计年份
2011-2012
 
年对外服务机时
(         小时)
年对外服务收入
            (            元)
 
机组技术人员*
姓名
职称
电话
E-mail
 
廖蕾
教授
027-68752567
liaolei@whu.edu.cn
 
刘传胜
高级工程师
18971512093
csliuan@whu.edu.cn
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
用户范围
及服务项目*
面向物理科学与技术学院各科研单位,材料的结构测试与分析
 
 
 
主要应用成果
1.       三大检索论文约3篇/年;其中一区论文1篇,
2.       培训上机操作人数10余人。
3.       科研课题5项。
 
 
仪器图片*
(或多媒体信息)
 
   
 
 
 

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