材料制备类

原子层沉积系统

来源:武汉大学物理科学与技术学院 发布时间:2015-04-29 09:49:05 点击次数:

设备编号*
11000166
分类编号
03060301
仪器中文名称*
原子层沉积系统
仪器外文名称
Atomic Layer Deposition System
 
仪器规格型号*
Beneq TSF-200
仪器总价(元)*
 
生产厂商*
芬兰Beneq
产地国别*
芬兰
生产日期
2009
启用日期*
2011.05
所在单位*
物理科学与技术学院
实验室名称
 
安放详细地址*
物理科学与技术学院2-110
联系人*
吴昊
电话*
15971459108
E-mail
H.wu@whu.edu.cn
测试服务标准*
  校内   /小时;院内 /小时;校外 /小时;
每周开放机时数*
小时
主要技术指标*
三路液态源,两路气态源(NH3,O3),两路固态源
 
主要测试和
研究领域
(多选)*
农业□农产品和食品□林业□土壤□生态环境□,
材料■, 生物医学■医药□石油化工□,   地质矿产□,
珠宝首饰□机械工程□海洋□, 大气物理□, 水文气象□,
公共安全□能源■,  轻工□电子与测量■计算机□,
有机化学■考古□天文□其它□
主要附件及功能*
1. 以原子层精度进行薄膜生长。
2. 备有NH3源及臭氧源,可以生长多种氮化物和氧化物薄膜。
3. 薄膜平整,表面覆盖率、保形性极好
仪器认证情况*
是否共享*
是□,       否■
仪器状态*
正常■,偶有故障□,
故障频繁□,报废□,
闲置□,未启用□,
待修□
服务统计年份
2011年
年对外服务机时
          21(小时)
年对外服务收入
      0(元)
机组技术人员*
姓名
职称
电话
E-mail
吴昊
副教授
027-68752567
h.wu@whu.edu.cn
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
用户范围
及服务项目*
薄膜材料生长
主要应用成果
1.       三大检索论文约3篇/年;
2.       年开设本科毕业设计2~5项;研究生毕业(设计)论文2~3项。
3.       年培训上机操作人数5人。
4.       科研课题9项。
5.       社会服务3项。
仪器图片*
(或多媒体信息)
   
 
 
 

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