材料制备类

溅射镀膜机

来源:武汉大学物理科学与技术学院 发布时间:2015-04-29 09:48:32 点击次数:

设备编号*
09000050
分类编号
03060302
仪器中文名称*
溅射镀膜机
仪器外文名称
 
仪器规格型号*
ACS-4000-C4
仪器总价(元)*
 
生产厂商*
日本真空
产地国别*
日本
生产日期
 
启用日期*
2009.3
所在单位*
武汉大学物理科学与技术学院
实验室名称
 
安放详细地址*
1区103
联系人*
肖湘衡
电话*
68752481-2212
E-mail
 
测试服务标准*
按样品数 200  /个,  按机时数   100   /小时
 
 
 
每周开放机时数*
10
主要技术指标*
真空室极限真空为1.0x10-5Pa
最大样品4英寸
薄膜厚度不均匀性≤±5%
工件烘烤600度
控制系统采用可编程控制器,内部包含真空系统、传动及提升等电器控制和互锁关系
主要测试和
研究领域
(多选)*
农业□农产品和食品□林业□土壤□生态环境□,
材料■, 生物医学□医药□石油化工□,   地质矿产□,
珠宝首饰□机械工程□海洋□, 大气物理□, 水文气象□,
公共安全□能源□轻工□电子与测量□计算机□,
有机化学□考古□天文□其它□
主要附件及功能*
可用于制备金属、绝缘体、半导体、磁性材料复合膜,也可以镀制单层膜及多层膜等。配备直流电源、射频电源。
仪器认证情况*
是否共享*
是□,       否■
仪器状态*
正常■,偶有故障□,
故障频繁□,报废□,
闲置□,未启用□,
待修□
服务统计年份
 
年对外服务机时
                  (小时)
年对外服务收入
            (元)
机组技术人员*
姓名
职称
电话
E-mail
肖湘衡
副教授
68752481-2212
xxh@whu.edu.cn
任峰
教授
68752481-2227
fren@whu.edu.cn
 
 
 
 
 
 
 
 
用户范围
及服务项目*
面对全校开放,薄膜制备
主要应用成果
 
仪器图片*
(或多媒体信息)
 
 
 
 
   
 
 
 

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