材料制备类

超高真空磁控与离子溅射

来源:武汉大学物理科学与技术学院 发布时间:2015-04-29 09:44:17 点击次数:

仪器编号*
4201
仪器分类编码*
03060301
所在单位内仪器编号
4000185
仪器中文名称*
超高真空磁控与离子溅射
仪器英文名称
 
仪器型号规格*
FJL560
主要技术指标*
真空度达5.0×10-5Pa
样品加热400℃
射频溅射功率500W
直流溅射功率500W
 
主要测试和
研究领域
(多选)*
农业□农产品和食品□林业□土壤□生态环境□, 材料■, 生物医学□医药□石油化工□,   地质矿产□, 珠宝首饰□机械工程■海洋□, 大气物理■, 水文气象□, 公共安全□能源■轻工□电子与测量■计算机□, 有机化学■考古□天文□其它
主要用途(单选)
研究■, 教育□, 商用□, 其他□
主要附件及功能
 
仪器认证情况*
 
生产厂商*
沈阳中科仪技术发展有限责任公司
产地国别*
中国
仪器原值*
 
启用日期*
2002.12
所在单位名称*
武汉大学物理科学与技术学院
实验室
名称
微电子
仪器安放地址*
微电子
 
邮政编码*
430070
仪器联系人*
魏建华
电话*
02787642784
电子
邮件
 
是否共享
 
 
,       否□
仪器状态
正常□,偶有故障■,
故障频繁□,报废□,
闲置□,未启用□,
待修□
开放机时安排*
每周一至周五全天
参考收费标准*
面议
服务统计年份
 
年对外服务机时
               (小时)
年对外服务收入
            (元)
知名用户及
联系方式
 
 
 
 
 
应用成果
 
 
仪器图片
(或多媒体信息)
 
 
   
 
 
 
 
 
 
 

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